649A_带有质量流量计的压力控制器模拟式; 流量范围:10~5000 sccm; I/O:压力:0-10 VDC,标准(0-5 VDC optional);流量:0-5 VDC: 精度:压力:±0.5% of reading.;压力控制:±0.2% of F.S.;流量:±1.0% of F.S. |
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LP |
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FC-D770_工业用数字式质量流量控制器数字式; 流量范围:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 正常工作压力:50 psig(345 kPag) |
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FC-780CHT_高温金属密封蒸汽质量流量控制器金属密封 |
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FC-7700_模拟橡胶密封质量流量控制器(11C1.52L)模拟橡胶密封; 流量范围:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 正常工作压力:50 psi(2586 Torr) |
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PI-980_带有压力探头的数字金属密封质量流量控制器数字金属密封; 流量范围:1-100000 sccm; 精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作压力:100 psiA(690 kPaA) |
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FC-7800_模拟金属密封质量流量控制器(50C22L)模拟金属密封; 流量范围:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 最大进气压力:140 psi(981 kPa) |
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FC-D980_数字式金属密封质量流量控制器数字式金属密封; 流量范围:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作压力:70 psig(490 kPag) |
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CA_数据线转换接头 |
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SC_信号通讯数据线 |
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