商品分类
649A_带有质量流量计的压力控制器模拟式; 流量范围:10~5000 sccm; I/O:压力:0-10 VDC,标准(0-5 VDC optional);流量:0-5 VDC: 精度:压力:±0.5% of reading.;压力控制:±0.2% of F.S.;流量:±1.0% of F.S. |
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Tru-Flo_质量流量计模拟式; 流量范围:1-500 sccm;2-2000 sccm;5-5000 sccm; 测量精度:≥10 sccm ±1% of Reading,3s;<10 sccm ±1.5% of Reading,3s |
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1640A_压力式质量流量控制器模拟式; 流量范围:2-20 sccm; 精度:气体/流量率决定; 过压限制:45 psia |
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VoDM_蒸汽需求模块 |
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1152C_加热型压力式质量流量控制器，通过层流管用于粘性流体模拟型; 流量范围:1-1000 sccm; 精度:±5.0% of F.S. |
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1150C_加热型压力式质量流量控制器，用于粘性流体通过阻塞小孔模拟型; 流量范围:1-1000 sccm; 精度:±5.0% of F.S. |
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