8162 模拟金属密封质量流量控制器(20C22C)(已停产,GF100替换)模拟金属密封 |
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1662 模拟金属密封质量流量控制器(20C22C)(已停产,GF100替换)模拟金属密封 |
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8261RC/8261R 数字金属密封质量流量控制器/计(30C31L)(已停产,GF120替代)数字金属密封; 流量范围:3 sccm-30 slm; 精度:±1% setpoint(35% -100% FS); ±0.35% FS(<35% FS); 最大工作电压:35 kg/cm2(500 psi); 阀门状态:阀门常开或常闭 |
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8560/8561/8565 数字金属密封质量流量控制器(30C31L)(已停产,GF120替代)数字金属密封; 流量范围:3 sccm-30 slm; 精度:±1% setpoint(35% -100% FS); ±0.35% FS(<35% FS); 最大工作电压:3500 kPa(500 psi); 阀门状态:阀门常开或常闭 |
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8100/8101/8105 模拟橡胶密封质量流量控制器/计(30C31L)(已停产,SLA5850或5850E 替代)模拟橡胶密封; 流量范围:3 sccm-30 slm; 精度:±1% setpoint(35%-100% FS);±0.35% FS(<35% FS); 考验压力:10500 kPa(1500 psi); 阀门状态:阀门常闭或常开 |
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7360/7361/7364 模拟金属密封质量流量控制器/计(50C31L)(已停产,GF100替代)模拟金属密封; 流量范围:5 sccm-30 slm; 精度:7360:±1% FS;7361/7364:±0.35% FS(<35% FS);±1% setpoint(35%-100% FS); 最大进气压力:500 psig; 最小输入阻抗:100000欧姆; 最大输出阻抗:10欧姆 |
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7300/7301/7304 模拟橡胶密封质量流量控制器/计(50C31L)(已停产,SLA5850或5850E替换)模拟橡胶密封; 流量范围:5 sccm-30 slm; 精度:7300:±1% FS;7301/7304:±0.35% FS(<35% FS);±1% setpoint(>35% FS); 最大进气压力:500 psig; 最小输入阻抗:100000欧姆; 最大输出阻抗:10欧姆 |
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180 模拟橡胶密封质量流量控制器/计(50C31L)(已停产,4860或5860E替换)模拟橡胶密封; 流量范围:5 sccm-30 slm; 精度:±1.0% FS; 最大进气压力:500 psig |
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GC100 数模橡胶密封质量流量控制器(10C22L)(已停产,Brooks替换)数模橡胶密封; 流量范围:N2:10 sccm-200 slm; H2:50-300 slpm; 精度:±1.0% FS(10 sccm-50 slm);±2% FS(50-300 slpm); 阀门状态:电磁阀常闭 |
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8260/8261_数模橡胶密封质量流量控制器(30C31L)(已停产,GF120替代)数模橡胶密封; 流量范围:3-30 slm; 精度:8260:±1.0% FS; 8261:±0.35% FS(<35% FS);±1% setpoint(>35% FS); 阀门状态:阀门常开或常闭; 最大工作压力:35 kg/cm2(500 psi) |
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8160/8161/8165 模拟橡胶密封质量流量控制器(30C31L)(已停产,GF120替代)模拟橡胶密封; 流量范围:3-30000 sccm; 精度:8161/8165:截流阀(2%);无额定(2%-5%);±0.35% FS(5%-35%);±1.0% SP(35%-100%);8160:±1.0% FS; 阀门状态:阀门常开或常闭 |
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1661_数字金属密封质量流量控制器(11C31L)(已停产,GF100替代)数字金属密封; 流量范围:3-30000 sccm; 精度:截流阀(2%);无额定(2%-5%);±0.35% FS(5%-35%);±1.0% SP(35%-100%) 阀门状态:阀门常开或常闭 |
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