IN3XP-HF_数字金属密封质量流量控制器(31L1.52L)数字金属密封 |
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IN2_数字质量流量控制器(00C31L)数字式; 流量范围:≤slm; 精度:±(0.25% SP+0.35% FS); 最大工作压力:140 psig(9.5 bar); 阀门类型:阀门常闭或电磁阀常开 |
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TN280/TN380_模拟橡胶密封质量流量控制器/计(11C31L)模拟橡胶密封; 流量范围:10 sccm-30 slm; 精度:±1% FS; 最大工作压力:150 psig(FC-280 SA);500 psig(FM-380SA) |
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TN2979/TN3979_模拟金属密封质量流量控制器/计(11C21L)模拟金属密封; 流量范围:10 sccm-20 slm; 精度:±1% FS; 最大工作压力:5.25 bar(60 psig); 阀门状态:常闭; I/O信号:0-5 VDC |
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TN262/TN362_模拟橡胶密封质量流量控制器/计(31L22L)模拟橡胶密封; 流量范围:30-200 slm; 精度:TN262:±2% FS;TN362:±1% FS; 底压:TN262:20-40 psid;TN362:0.5 psid FS |
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TN261/TN361_模拟橡胶密封质量流量控制器/计(60L21L)模拟橡胶密封; 流量范围:6-20 slm; 精度:±1% FS; 底压:TN261:15-40 psid;TN361:0.5 psid FS |
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TN260/TN360 模拟橡胶密封质量流量控制器/计(11C50L)(已停产,4850,5850E或5850TR替代)模拟橡胶密封; 流量范围:10 sccm-5 slm; 精度:±1% FS; 底压:TN260:10-40 psid;TN360:0.5 psid FS |
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TN2920/TN2921/TN3920/TN3921_模拟橡胶密封质量流量控制器/计(31L22L)模拟橡胶密封; 流量范围:30-200 slm; 精度:±2% FS; 阀门状态:电磁阀常闭; I/O信号:0-5 VDC |
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TN2925/TN2926/TN3925/TN3926_模拟橡胶密封质量流量控制器/计(22L13L)模拟橡胶密封; 流量范围:200-1000 slm; 精度:±2% FS(≤30 slm);±3% FS(≤1000 slm); 最大工作压力:TN2925/2926:150 psig(500 psig proof);TN3925/3926:500 psig(1500 psig proof) |
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IN3XP_数字质量流量控制器/计数字式; 流量范围:5 sccm-100 slm; 精度:±0.5% SP(>50%-100% FS);±1% SP(10%-50% FS);±0.1% FS(<10% FS);±1% SP加±0.5% FS(>30 slm); 控制阀门类型:电磁阀常闭; 模拟I/O信号:0-5 VDC; 最大超出额定范围压力:140 psig |
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TN2900/TN3900_模拟金属/橡胶密封质量流量控制器/计(11C31L)模拟金属/橡胶密封; 流量范围:TN2900:10 sccm-10 slm; TN3900:100 sccm-30 slm; 精度:±1.0% FS; 阀门:常开或常闭; 最大进气压力:11.5 bar (150 psig) |
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